在萬物互聯(lián)的時代浪潮中，傳感器作為物聯(lián)網(wǎng)、工業(yè)互聯(lián)網(wǎng)、大數(shù)據(jù)與人工智能等前沿技術(shù)的核心元器件，正成為推動產(chǎn)業(yè)智能化升級的關(guān)鍵基石。而微機(jī)電系統(tǒng)（英文：Micro-Electro-Mechanical System，以下簡稱等優(yōu)勢，隨著國家重大裝備性能和人民生活質(zhì)量提升的雙重需求，在傳感器應(yīng)用領(lǐng)域愈發(fā)重要。

　　對MEMS的探索可起源于20世紀(jì)50年代，一直以來，生產(chǎn)制造是MEMS產(chǎn)業(yè)鏈的最關(guān)鍵環(huán)節(jié)。MEMS源于集成電路的工藝基礎(chǔ)，線mm為主，雖然不像半導(dǎo)體先進(jìn)制程達(dá)到28nm以下，但MEMS元器件結(jié)構(gòu)相對復(fù)雜，除了延用集成電路的成熟工藝以外還需引入特殊工藝。MEMS傳感器芯片本質(zhì)上是在硅片上制造極微小化機(jī)械系統(tǒng)和集成電路的集合體，加工工藝具有明顯的非標(biāo)準(zhǔn)化和定制化特征，制造的工藝水平基本上決定了MEMS產(chǎn)品的基準(zhǔn)性能，并且對供應(yīng)鏈體系支撐有較高的要求，從特定角度來說，MEMS工藝要求、MEMS定制化設(shè)備需求比集成電路要更高，因而MEMS晶圓制造決定了MEMS的產(chǎn)業(yè)化上限。

　　2025年10月22日至24日，第六屆中國MEMS制造大會暨微納制造與傳感器展覽會將在蘇州國際博覽中心隆重舉行。這場多年來緊緊圍繞MEMS“制造”的專業(yè)展會，聚焦傳感器前沿技術(shù)與產(chǎn)業(yè)發(fā)展，將再次匯聚全球頂尖專家與創(chuàng)新成果，為MEMS制造領(lǐng)域帶來全新發(fā)展機(jī)遇，助力產(chǎn)業(yè)生態(tài)繁榮發(fā)展。

　　該大會由中國唯一的MEMS行業(yè)權(quán)威組織——中國半導(dǎo)體行業(yè)協(xié)會MEMS分會主辦，自2019年起已連續(xù)成功舉辦五屆。大會延續(xù)高規(guī)格、強(qiáng)陣容、廣影響的行業(yè)定位，在展覽規(guī)模、產(chǎn)業(yè)鏈覆蓋等方面實(shí)現(xiàn)了全面升級。

　　MEMS器件及模組、加工裝備、納米壓印、微制程技術(shù)、初試/量產(chǎn)代工、特殊工藝平臺、鍵合/解鍵合設(shè)備、分析檢測、特種封裝、MEMS融合接合技術(shù)、下一代光刻技術(shù)、感知元器件、執(zhí)行器、各類傳感器等。

　　鈮酸鋰/PZT/稀有金屬靶材等各類電子原材料、晶圓硅片、碳化硅/氮化鎵/氧化鎵等第三四代半導(dǎo)體材料、玻璃基板、光刻膠、特氣供應(yīng)、制備耗材等。

　　精密分析儀器、科學(xué)試驗(yàn)裝置、智能儀表、試驗(yàn)機(jī)與力學(xué)檢測設(shè)備、精密測量與測試、光學(xué)檢測、質(zhì)量檢測、量子化計(jì)量技術(shù)、先進(jìn)計(jì)量測試技術(shù)、校準(zhǔn)與檢測、第三方認(rèn)證等。

　　多傳感器融合解決方案、人工智能技術(shù)、物聯(lián)網(wǎng)技術(shù)、算法及通訊模組、人形機(jī)器人、電子皮膚，靈巧手等。

　　目前，展區(qū)匯聚200多家MEMS全產(chǎn)業(yè)鏈知名企業(yè)單位，部分參展企業(yè)包括：歌爾、敏芯、明皜、漢威等MEMS器件設(shè)計(jì)企業(yè)；MEMSRIGHT、納米所加工平臺、晶方半導(dǎo)體、九峰山實(shí)驗(yàn)室、芯動科技等20余家量產(chǎn)/代工企業(yè)；勝科納米、米格實(shí)驗(yàn)室、中國機(jī)械總院、計(jì)量所等測試分析企業(yè)；南智光電、松山湖實(shí)驗(yàn)室、化合積電等上游原材料企業(yè)；KLA、ULVAC、卡爾蔡司、奧林巴斯、Park等國內(nèi)外設(shè)備企業(yè)。

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　　展區(qū)將吸引2萬+來自MEMS產(chǎn)業(yè)的精準(zhǔn)觀眾，一同探討行業(yè)趨勢、尋找合作機(jī)會、拓展商業(yè)網(wǎng)絡(luò)。參展企業(yè)可以全方位呈現(xiàn)MEMS制造全產(chǎn)業(yè)鏈的科研成果和最新動態(tài)，與潛在客戶面對面交流，一站式滿足上下游客戶需求，從而建立長期穩(wěn)定的合作關(guān)系。觀眾可以深入了解MEMS制造領(lǐng)域行業(yè)動態(tài)、學(xué)習(xí)先進(jìn)技術(shù)經(jīng)驗(yàn)、尋找優(yōu)質(zhì)的合作伙伴。

　　經(jīng)過連續(xù)五年的舉辦，China MEMS 中國MEMS制造大會已經(jīng)成為中國MEMS行業(yè)內(nèi)最知名的品牌會議之一，大會在推動國際國內(nèi)MEMS技術(shù)創(chuàng)新和促進(jìn)產(chǎn)業(yè)鏈資源整合方面發(fā)揮了關(guān)鍵作用。

　　本次大會設(shè)置的制造主題會場將完善上下游報(bào)告嘉賓資源，聚焦MEMS傳感器全產(chǎn)業(yè)鏈生態(tài)，深度解析投資機(jī)遇、核心材料、關(guān)鍵設(shè)備、先進(jìn)設(shè)計(jì)、精密制造、高端封測及系統(tǒng)集成等核心環(huán)節(jié)。同時，大會將打造“MEMS+”概念，設(shè)立具身感知專題論壇，聚焦智能傳感器在工業(yè)與消費(fèi)領(lǐng)域的創(chuàng)新應(yīng)用，深入探討行業(yè)領(lǐng)軍企業(yè)對高性能傳感技術(shù)的核心訴求，推動MEMS技術(shù)跨行業(yè)融合與規(guī)模化落地。此外，大會深度嵌入國際知名傳感器企業(yè)和行業(yè)組織，邀請海外企業(yè)高層共同探討MEMS產(chǎn)業(yè)國際合作新格局。

　　大會將表彰2024年中國MEMS產(chǎn)業(yè)發(fā)展的前十位企業(yè)，以龍頭企業(yè)為引領(lǐng)，激發(fā)MEMS行業(yè)良性競爭和產(chǎn)業(yè)發(fā)展活力，推動中國MEMS產(chǎn)業(yè)在全球范圍內(nèi)實(shí)現(xiàn)彎道超車。

　　大賽將采用“行業(yè)賽、地區(qū)賽相結(jié)合”的方式，先后在蘇州、西安、深圳、北京舉辦６場初賽，并將于10月21日在蘇州舉辦總決賽，展示MEMS領(lǐng)域的創(chuàng)新活力和創(chuàng)業(yè)熱情。

　　蘇州工業(yè)園區(qū)已連續(xù)多年獲評“中國MEMS產(chǎn)業(yè)第一園”，緣何蘇州可以集聚幾乎MEMS全產(chǎn)業(yè)鏈企業(yè)？作為MEMS設(shè)計(jì)/制造領(lǐng)域的年度盛會，組委會精心籌備了“MEMS+游學(xué)行”活動，帶您走進(jìn)MEMS創(chuàng)新企業(yè)總部，了解MEMS產(chǎn)業(yè)沃土，親身體驗(yàn)科技的無限魅力！

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